中國那機器是乾式的，大概是做28nm。
只是DUV曝光機的中階水準。
而且這台機器是否為全國產，是否能真正商業化，都還不知道。
這台機器和周邊設備的適配性還不知道。畢竟原來機器全是配合ASML 的
用這台機器做良率會下降嗎？
還有DUV曝光機，中國一定有ASML 更高階的，有2100di型號的。
這樣反向製造還做了蠻久的。
EUV曝光機，中國連實體機都沒看過。要做還很遙遠。
而且現在EUV曝光機已經有第二代了。而且很可能有第三代。
中國還蠻早的。