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00:03 2020/10/02 中時新聞網 吳美觀
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台積電掃貨全球半數EUV機台，三星看不見車尾燈。（圖/達志影像/shutterstock）
台積電7奈米、5奈米訂單爆棚，為加速3奈米先進製程開發，預估明年EUV（極紫外光）機
台將超過50台，幾乎全球一半EUV設備都在台積電手裡，狠甩競爭對手三星。對此消息，
台積電不予置評，因為涉及商業機密。
台積電今年下半年全力衝刺5奈米量產，明年還展開3奈米生產線建置，對於EUV曝光機需
求大增。《電子時報》報導，供應鏈消息指出，台積電目前已採購35台EUV設備，占微影
設備大廠荷商艾司摩爾（ASML）過半產量，光是5奈米、3奈米據點的南科就達20台，明（
2021）年底採購總量將超過50台，預估55台左右。
相較之下，三星EUV設備採購量目前不到20台，業者估算，明年也不超過25台，看不見台
積電車尾燈，從設備、零組件採購數量來看，凸顯台積電、三星在先進製程與接單量的差
距持續擴大。
台積電看好5奈米和3奈米先進製程在未來幾年強勁需求，今年資本支出已提高至160～170
億美元，代表將持續增加EUV曝光機採購量。
由於台灣EUV機台裝機規模領先全球，艾司摩爾為了服務最大咖客戶台積電，選擇在荷蘭
以外的南科設立首座EUV全球技術培訓中心，為台灣半導體產業提供更完整的服務。
然而艾司摩爾這項美意，卻讓台積電工程師哀號。業內人士透露，以往要學會使用EUV設
備，只能去荷蘭受訓，現在不必出國在南科就能完成訓練，無法享受出國的福利。
心得/評論：
根據新聞預估明年幾乎全球一半EUV設備都在台積電手裡，
台積電還是領先對手長期大勢看好。