作者:
asiguo (PositiveWeiwei)
2021-09-19 20:00:55嗨各位大大中秋佳節萬安:
台積電算是目前做GaN製程最成熟的公司,不僅是做手機快充,或是和BMW等公司供應鏈合
作車用的GaN電源管理晶片,包括CMOS compatible GaN on Si製程,台積都是一等一而且
實實在在的氮化鎵專業製造公司。
然而,有個疑問是,台積作為目前可能是台灣數一數二製造最大量氮化鎵元件的公司(另
一家是穩懋的GaN RF元件),想請問台積電的氮化鎵磊晶片,也就是epitaxy wafer,到底
是誰在負責供應的?
在一個digitimes的新聞,有看到台積內部有3-6台的MOCVD在做薄膜生長,看台積的研究論
文在氮化鎵的部分,也有提到未來會使用到幾台MBE做磊晶平整度的優化,以及用MBE處理
氮化鎵的歐姆接觸電阻的問題。
除了自己供應自己之外,也有人富采是台積電的外包廠商,但我對這個說法非常懷疑,畢
竟我聽到不少人說富采的磊晶實力實在是讓人不敢苟同。
想請問台積電未來要做這麼多的車用快充元件,幾個車用的客戶都已經在台積下單GaN元件
了,例如GaN system,台積的氮化鎵磊晶片究竟是打算從哪裡來?對MOCVD和MBE的需求,
是打算怎麼補上,難不成台積在這一塊打算用IDM的方式作嗎,畢竟設備相對於EUV來說也
不貴?
真心請教了解台積電特殊製程的各位大大!