Re: [新聞] ASML強敵來了!陸「EUV關鍵技術」大突破

作者: zh9070 (我贏了)   2025-01-18 17:10:32
在付費網站上查了一下趙永蓬的學術狀況,他現在工作單位:哈爾濱工業大學
可調諧激光技術國家級重點實驗室,博士生導師,他自己的論文很多,發表時
間大部分在2018年之前。他2018年帶的博士生名叫徐強,論文題目是《毛細管
放電Z箍縮Xe等離子體EUV光源研究》。他2023年帶的碩士生名叫李家祺,論文
題目是《重複頻率毛細管放電Xe等離子體极紫》。
在趙永蓬+EUV蒐索條件下,祗得到一條中國科學院上海光學精密機械研究所所
發的訊息資訊:“2024年3月18日 上海光機所在EUV和軟x射線分束器方面首次
取得進展”,
在徐強+EUV和李家祺+EUV蒐索條件下,結果均為零。
大致認為實驗室階段關於極紫外的研究弄差不多了,負責轉化工作的應該是上
面提到的上海光機所。這是一個非常複雜的事情,單靠一家研究所是不夠的。

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