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[請益] 關於FOUP CLEANER

作者: photosurf (夏日浪人)   2013-01-21 09:44:55
台灣有本土廠商在做這一塊有很多嗎?
據前輩說日本有2家, 德國1家是市場主流
半導體業界都會用到FOUP CLEANER這設備嗎?
還是有其他替代方法?
作者: andy7839 (Purple)   2013-01-21 21:32:00
有FOUP都要吧............
作者: mmbpoken (NICK)   2013-01-21 21:33:00
DMS
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