http://udn.com/news/story/6/1491848
南台灣地牛翻身,高雄6日上午3時57分發生規模6.4地震,地震波及位於南科園區高科技
產業,其中台積電南科晶圓廠房及廠務未造成破壞影響,但由於地震搖晃激烈,造成爐管
區晶圓破裂,晶圓自動搬運系統停止運作,預估在2至3天生產線可恢復正常運作,台積電
預估將不影響第1季出貨量。聯電南科晶圓廠則同樣出現晶圓破片,生產線當機。業界預
估兩家晶圓廠損失金額在數十億元以上。
台積電發言人孫又文指出,在地震發生第一時間人員緊急疏散,員工未出現傷亡,南科晶
圓6廠及14廠建築物及廠務均未受影響,機台設備也未受地震影響移位,建築結構體興建
時以高規格興建,已考量耐震係數,故建築主體未出現損壞,詳細損失金額還需評估。
不過,由於該地震搖晃劇烈,導致爐管區晶片破損,目前正在清查晶圓損壞數量及損壞晶
片為哪些客戶,晶圓自動搬運系統目前停止運作。目前所有南科員工已經回到工作崗位上
負責清理善後,也請其新竹及中科廠員工支援南科運作,在2至3天可恢復生產運作,預估
將不影響第1季出貨量。
聯電指出,位於南科P1至P4共計4座晶圓廠,也因為地震因素,出現機台內晶圓破片,晶
圓搬運系統當機情況,但生產線可繼續運作。該廠主要以28奈米先進製程為主,預料以台
積電受損情況判斷,因破片造成損失恐在4個半月後反應於營收數字上。
台積電位於南科共計晶圓6廠及14廠兩座廠,分別為8吋及12吋晶圓,其中14廠主要為16奈
米及20奈米先進製程為主,由於該廠為台積電近期新建晶圓廠,建築主體耐震達7級地震
強度,不過,一般生產設備機台在地震強度達6級便停機運作。