[請益] 全氟化O-ring

作者: turn329 (小肉包)   2017-05-31 21:10:48
各位大大好,想請問一下
-全氟化的O-ring使用普遍性高嗎?
-一般不是用Viton的就夠用了? 怎樣環境會用到全氟化?
-半導體製程? 面板廠? PCB?
印象中認識的設備工程師朋友幾乎都用Viton居多
所以想了解在什麼地方用全氟化的才多?
如果有大大比較了解願意指導一下的,願奉上500P(稅前)作為感謝
感謝協助~~
作者: reckson1017 (GOD)   2017-05-31 21:19:00
嚴苛的溶劑 thf tol
作者: sianous (sianous)   2017-05-31 21:41:00
TMAH, NMP
作者: thumba87295 (陽光肥肥)   2017-05-31 21:42:00
可以上網google啊,Viton只耐酸而已但不是所有酸都能用viton
作者: mart9266 (MART)   2017-05-31 21:47:00
化工廠常用 杜邦網站可以查適不適合用
作者: zhanren (Ethylene Propylene)   2017-05-31 21:57:00
Viton連甲醇都不耐,對很多溶劑都不行。
作者: joe50127 (唯心而論)   2017-05-31 22:13:00
化工廠 用於過濾器墊圈
作者: love942cg (AE)   2017-05-31 22:18:00
全弗在面板廠是用來抗高溫CH動輒200~300度,沒全氟容易leak降低良率,需要降溫更換
作者: turn329 (小肉包)   2017-05-31 22:31:00
請問CH是...?
作者: love942cg (AE)   2017-05-31 22:37:00
Chamber
作者: turn329 (小肉包)   2017-05-31 22:43:00
感謝
作者: yellowred200 (Mr.Roger)   2017-05-31 23:06:00
其實生產化學品的工廠,或是會蝕刻的產業都需要
作者: amos0827 (我愛大OO)   2017-06-01 00:30:00
防被電鍍
作者: osirisobelis (osiris￾N￾NN )   2017-06-01 02:07:00
溶劑廠
作者: WillWaiting (Creep)   2017-06-01 02:17:00
Oring很重要啊 查一下那些設備廠都用啥種的
作者: f33783378 (小灰狼)   2017-06-01 06:36:00
生產這些溶劑的工廠啊
作者: sc1 (sc1)   2017-06-01 09:33:00
採購權領導跟廠商喝完酒的環境就會用到全佛化
作者: benden (20%/y的蝸牛)   2017-06-01 16:38:00
去光阻劑也要全氟哦!
作者: kusojoke (syue)   2017-06-01 17:18:00
乾蝕刻chamber 很常用,畢竟溫度偏高,還有製程氣體plasma很容易把viton Oring吃掉,會有particle defect問題所以會換成全氟化的airing 有誤再請板上前輩糾正
作者: gn01657736 (gn01657736)   2017-06-01 17:44:00
viton其實很多化學品都不耐
作者: turn329 (小肉包)   2017-06-02 00:01:00
感謝各位大大指導,我晚點奉上些微P幣
作者: frank75623 (老阿北化的七年級生)   2017-06-02 21:00:00
面板廠大概就跟kuso 講的差不多Viton 的很容易被製程氣體吃掉產生P/T爆量然後設備又要被highlight開chamber保養
作者: ArthurDX (亞瑟)   2017-06-03 01:11:00
濕蝕刻、清洗液也都有機會用到全氟o-ring

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