作者:
turn329 (小肉包)
2017-05-31 21:10:48各位大大好，想請問一下
-全氟化的O-ring使用普遍性高嗎?
-一般不是用Viton的就夠用了? 怎樣環境會用到全氟化?
-半導體製程? 面板廠? PCB?
印象中認識的設備工程師朋友幾乎都用Viton居多
所以想了解在什麼地方用全氟化的才多?
如果有大大比較了解願意指導一下的，願奉上500P(稅前)作為感謝
感謝協助~~
作者: reckson1017 (GOD) 2017-05-31 21:19:00
嚴苛的溶劑 thf tol
作者: sianous (sianous) 2017-05-31 21:41:00
TMAH, NMP
可以上網google啊，Viton只耐酸而已但不是所有酸都能用viton
作者: zhanren (Ethylene Propylene) 2017-05-31 21:57:00
Viton連甲醇都不耐，對很多溶劑都不行。
全弗在面板廠是用來抗高溫CH動輒200~300度，沒全氟容易leak降低良率，需要降溫更換
作者:
turn329 (小肉包)
2017-05-31 22:31:00請問CH是...？
作者:
turn329 (小肉包)
2017-05-31 22:43:00感謝
作者: yellowred200 (Mr.Roger) 2017-05-31 23:06:00
其實生產化學品的工廠，或是會蝕刻的產業都需要
作者:
amos0827 (我愛大OO)
2017-06-01 00:30:00防被電鍍
作者: f33783378 (小灰狼) 2017-06-01 06:36:00
生產這些溶劑的工廠啊
作者:
sc1 (sc1)
2017-06-01 09:33:00採購權領導跟廠商喝完酒的環境就會用到全佛化
作者:
benden (20%/y的蝸牛)
2017-06-01 16:38:00去光阻劑也要全氟哦！
乾蝕刻chamber 很常用，畢竟溫度偏高，還有製程氣體plasma很容易把viton Oring吃掉，會有particle defect問題所以會換成全氟化的airing 有誤再請板上前輩糾正
作者:
turn329 (小肉包)
2017-06-02 00:01:00感謝各位大大指導，我晚點奉上些微P幣
面板廠大概就跟kuso 講的差不多Viton 的很容易被製程氣體吃掉產生P/T爆量然後設備又要被highlight開chamber保養