作者:
hvariables (Speculative Male)
2021-04-12 12:29:25https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442561
林本堅 發明浸潤式微影技術
2021/04/12 05:30
https://img.ltn.com.tw/Upload/business/page/800/2021/04/12/147.jpg
台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅。（記者洪友芳攝）
記者洪友芳／特稿
光學微影是半導體重要的關鍵技術，林本堅被稱為微影技術的先驅者，當前全球半導體高
階製程所用的浸潤式微影技術，就來自他的發明；他也是中研院第一位產業界出身的院士
。
中研院首位產業界出身院士
林本堅曾任職IBM研究中心長達二十二年時間，帶領團隊創造出許多領先全球的技術；從
IBM退休後，他在美國自行創業近十年，二○○○年在台積電前研發副總經理蔣尚義邀請
下加入台積電；二○○二年間，他改以水為介質，研發出浸潤式微影取代乾式微影，讓台
積電成功引領全球半導體業技術走向，得以推進製程至今。
半導體業從四十奈米製程開始採用浸潤式技術量產，設備大廠艾司摩爾（ASML）也跟著轉
向，全球業界跟進；從四十五奈米到目前量產的五奈米製程都是浸潤式技術，該技術已躍
為全球半導體業量產技術主流，更讓台積電技術領先英特爾、三星，居全球半導體領導地
位。
林本堅獲獎無數，除了多次獲IBM頒發傑出發明獎、傑出貢獻獎外，更當選美國國家工程
學院院士、國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院
士、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士及首位產業界的中研院院士：二○一八年底
，有「中國諾貝爾獎」之稱的未來科學大獎，還頒給他高達一百萬美元的數學與電腦科學
獎項，顯見他在業界的重要地位。
林本堅二○一五年十一月自台積電退休，原規劃輕鬆過日子、專心傳教，沒想到清大找他
去教書；他說現在好像跟當初來台灣一樣，有很多喜歡的事要做，時間不夠分配，除了教
課外，還接任台積電與清大的聯合研發中心主任、負責主持產學大聯盟，加上每週打兩次
網球、每月最後一週負責教會講道等；林本堅笑說：「退休後更忙碌。」
作者:
ijk1 (ijkl)
2021-04-12 12:31:00你那邊還來得及 快叫你爸all in 2330
樓上 趕快放空canon all in ASML 才對
作者:
claymath (輪迴的印記 藏在我眉宇)
2021-04-12 12:46:00IBM20年 自己創業10年再加上2000年回來到現在21年了 0.0 應該七八十了吧？
作者:
s1023 (好想要揮霍)
2021-04-12 12:46:00買啥股票直接一買比特幣啦
作者:
claymath (輪迴的印記 藏在我眉宇)
2021-04-12 13:02:00所以台積水會不夠用是這個原因？（誤
作者:
NoAfraid (小子難纏 不得安寧)
2021-04-12 13:03:00要嘛比特幣 要嘛Tesla 買2330幹啥??
作者:
botnet (天龍人)
2021-04-12 13:12:00他真的超厲害
作者:
cht1234 (cht1234)
2021-04-12 13:14:00上一代神
作者:
kerfish (kerker)
2021-04-12 13:24:00幾百年前的事情= =
作者:
ngxx (ngx)
2021-04-12 13:29:00要講幾次？
作者:
mayasky ( )
2021-04-12 13:53:00考古嗎？..
作者:
wcre (錡)
2021-04-12 14:32:00強者舊聞
作者: kevabc1 (abc1) 2021-04-12 16:07:00
考古學家嗎.....
作者: AGATELINK 2021-04-12 16:08:00
文組撥接
作者: Tawara (77) 2021-04-12 16:29:00
沒新聞就來考古...？
2015年退休嗎?? 怎麼跟我印象不同 難道是曼德拉效應
作者:
MRFROG ( )
2021-04-12 18:20:00好像住關埔那邊 ㄏㄏ
作者: sholin (小寶小寶真可愛) 2021-04-12 22:04:00
前面只是鋪梗吧,新的是退休後的生活,他真的認真傳道
作者:
Latte7 (nonono)
2021-04-13 07:22:00幫補血
作者:
ogkw (我是一隻鴨)
2021-04-13 20:13:00重壓達美樂