南科施工跳電意外 台積電十四P7廠晶圓報廢近萬片
自由時報
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〔記者洪友芳/新竹報導〕南科因1家承包商施工不慎挖斷電纜線,引發晶圓代工廠台積
電 (2330) 的晶圓十四P7廠區發生停電導致停產,根據半導體設備業透露,僅40/45奈
米製程報廢片數高達7千片,16奈米製程也有千片報廢,因停電時間久,數萬片生產中的
晶圓良率恐也偏低,整體可能影響對客戶交期,且今天正陸續復產中,受損不小,達數億
元。
南科於14日上午11點多傳出1家承包商工程施工不慎挖到電纜,導致台積電等10多家廠商
跳電或壓降,鄰近施工處的台積電南科十四P7廠影響最大。台積電也聲明指出,晶圓十四
P7廠因南科超高壓變電所電纜異常致使廠區停電,已於當日傍晚恢復正常供電。實際影響
待釐清。
TrendForce調查也指出,十四P7廠雖在電路異常期間,廠內DUPS(柴油不斷電系統)即時
運作,但短暫停電及壓降仍造成部分設備異常當機,依據過往半導體工廠跳電事件經驗判
斷,普遍需要2~7天進行設備重新校正。
TrendForce並評估此事件影響性,台積電十四P7廠區包括45/40、16/12奈米製程生產線,
45/40nm更是現階段晶圓代工最為緊缺的製程之一,以生產車用微控制器(MCU)及影像感
測器(CIS)為主,主要客戶包括恩智浦、瑞薩、Sony等,報廢將影響對客戶交貨期,車
用MCU短缺會比CIS來得大。預估可能報廢的晶圓損失金額約數億元。
藏起來的破片可以拿出來一起報廢囉