台積電將氫氟酸廢液合成冰晶石 估年創4億元效益
The Central News Agency 中央通訊社
2021年11月30日 14:15
（中央社記者張建中新竹30日電）台積電力推循環經濟，於中科晶圓15B廠啟用首座氫氟酸
廢液合成冰晶石系統，預計民國112年擴大導入先進製程晶圓廠區，估計一年將創造新台幣4
億元效益。
晶圓加工與清洗製程會產生氫氟酸廢液，為友善環境並提升廢液的再利用價值，晶圓代工廠
台積電107年起與協力廠商合作啟動氫氟酸廢液回收技術研究。
台積電表示，透過分析廢液濃度、再製技術、藥劑製備與銷售通路等面向，評估將氫氟酸廢
液合成為高純度冰晶石最具廢棄資源高值化優勢。
台積電指出，冰晶石主要用於鋁工業做為助熔劑，可於電解煉鋁過程中節省逾25%能耗，由
於全球天然冰晶石產量稀少且幾乎開採完畢，現多為人工合成品，一般製作過程需較多原料
且反應溫度較高。
台積電表示，以氫氟酸廢液做為冰晶石製程原料，根據氫氟酸廢液的濃度需求，與廠商合作
研發出可生成冰晶石的反應藥劑，再搭配適當的操作參數降低反應溫度，成功使氫氟酸廢液
合成為高純度冰晶石，可直接於廠內生產，在地研發的反應藥劑也提升國內循環經濟產業的
再生技術。
位於晶圓15B廠的首座氫氟酸廢液合成冰晶石系統，今年9月正式啟用，台積電指出，至11月
已減少氫氟酸廢液委外處理量達500噸，產出冰晶石150噸，預計於112年擴大導入至先進製
程晶圓廠區，目標每年減少委外處理量4.6萬噸，產出冰晶石1.2萬噸，創造逾4億元效益。
（編輯：林淑媛）1101130
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