[請益] 半導體製程UV curing

作者: hiyasa (asashi)   2015-10-31 21:30:22
請教下
小弟沒進去過半導體廠 最近在寫些半導體產業狀況
若有寫錯麻煩訂正下 謝謝!
最近查到"UV curing"(紫外光固化) 就UV固化設備
google查到
他是用在微影製程
主要功能是利用UV光對光阻進行預處理以加強光阻的強度
這是還沒在曝光前預熱(軟烤)的嗎?? 還是其他製程?
還是我查的資料有錯 不是用在半導體製程
謝謝!!!
作者: ChuchingMan (oh ya)   2015-10-31 21:35:00
UV是單獨出來的機台, 通常是在IMPL前的製程
作者: bear0 (雄)   2015-10-31 21:51:00
不是用在黃光,用在 TF 氧化薄膜上,使固化沒錯
作者: lvolingyi   2015-10-31 21:56:00
tf 的ultra low k吧
作者: melzard (如理實見)   2015-10-31 22:03:00
To 1&2F, 確實有用在微影製程.後段metal 顯影後可用用在哪看工廠製程設計上可以有不同選擇 我相信1.2樓看過的flow確實有人會這樣安排這種機台的結構設計上相對其他機台簡單一些 因為只做UV照射, 所以run貨速度非常快, 需要監測的參數也較少但是相對來說如果發生問題也比較難第一時間發現
作者: lewecool (Korn)   2015-10-31 22:13:00
LK film後的UV Curing
作者: q169 ( )   2015-10-31 22:15:00
填via的洞啦.....
作者: windbells (Sunday)   2015-10-31 22:23:00
用來detapping?
作者: marslgj (Bonnie Doon)   2015-10-31 23:29:00
PE:X!又殘膠了!
作者: momorabbit ( )   2015-11-01 00:40:00
很多地方有用@@利用不同波段用在不同的地方~
作者: Rweiwei (史瑞克)   2015-11-01 00:48:00
UV curing 要了解到是把什麼原子Cur 出來,半導體通常用Dep之後
作者: toNpppa (Johnny Cash the truth)   2015-11-01 13:44:00
Pm有夠麻煩

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