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股后嫁老外 台積7奈米競爭恐加劇
2016-06-20 04:05 經濟日報 記者簡永祥／台北報導
荷蘭設備大廠艾司摩爾（ASML）併購股后漢微科，牽動台積電與三星的製程競賽。設備業
者認為，ASML併購漢微科之後，可能協助三星加快7奈米量產，使得台積電與三星的7奈米
大戰戰火更烈。
業界觀察，三星在10奈米製程失利之後，已宣布提前7奈米量產計畫，率先在7奈米導入
ASML量產的極紫外光微影製程（EUV）設備機台。三星規劃，明年第2季或第3季EUV機台裝
設完工之後，明年底就會用於量產7奈米晶片。
台積電在7奈米製程尚未導入EUV設備。由於ASML併購漢微科之後，在先進製程機台能量大
幅提升，業界密切關注ASML是否會協助三星加快7奈米布局，以及台積電後續因應動作。
台積電表示，對ASML併購漢微科持肯定態度，預期以ASML雄厚財力，可以讓漢微科有更大
的後盾，支持在電子束檢測更先進的研發。
對於三星提前在7奈米採用EUV微影製程，台積電表示，考量目前EUV設備還有很多技術瓶
頸，公司才決定不在7奈米導入使用，將緊盯對手發展。台積電強調，若EUV設備在2018年
更成熟，該公司也會採取應變對策，絕不會讓對手取得先機。