你這範例不是很好
用熱膨脹係數算
1公分長的鐵
室溫每差1度C
長度就差120奈米
溫度差0.1度C
就差12奈米
然後機台每個料件
如果材質不同
熱膨脹係數也不同
連矽晶圓都有自己的熱膨脹係數
在10奈米以下製成
就算不考慮機台因素
也就是室溫差不到一度C
可能連光罩對位
都沒辦法對上了
可怕吧
※ 引述《rick102233 ()》之銘言：
: 陸媒表示，光刻機(曝光機)再巔峰，也是手造而不是神造的
: 傾全國之力終有突破的一天
: 仔細想想，精度2-5nm完全無法想像啊
: 如果把機器放大成地球這麼大
: 機器的誤差必須小於一粒沙？外星科技
: 撇開中國能不能造出個位數精度的曝光機
: ASML的曝光機是不是人類科技的極限