作者:
moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)
2019-09-22 10:10:33IMP 分為 Wheel ChamDber與Single Camber因為Wheel Chamber 的報廢批太大一
次13Pcs，所以GG後期皆改良為Single。
其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那會常PM後outgassing
到往生，其實有解決方法，只要把粉狀藥劑與Source Head放在最後裝上，且Source Hea
d/ Liner需昨天就已置於烤箱中，可減少outgassing的時間，再者建置高真空時，前後多
做幾次N2 purge，可減少異味也可快速建置真空，其實最怕做到此類型機台，有時候 Exh
aust沒做好，異味外洩有可能全場疏散。
另一項最為頭痛的為Source Head Filament/PFG Short，其中S/H short 有解決
方法，就
是將 Filament Cathode 與 Liner 間 改良Liner為倒梯形，一方面不會導致Plasma外逸
，另一方面可以增加Filament Cathode 與 Liner 間距，減少Short的機會延長PM時間。
Source Head也常常建置真空後，S/H後端外管漏水，解決方法為建置OFF Line 測
漏水。
S/H O-ring 對建置高中空也其為重要，最好OFF Line就檢查，當建置粗真空時(
即Turbo
Pump 打開) 一定要用N2測漏儀器測漏，否則建置不起來高真空，或是導致 Cryo Pump 回
溫這可能要到隔天去了。
因為IMP製程適用於半導體與Dram，但是Dram 的IMP Recipe其 Energy與Dose相
對單純固定，不像半導體有幾百隻IMP Recipe常常需要切換，導致常常需要PM。
其IMP 所學範圍極窄，只是用半導體業，GG 轉職也只能去 Vendor作 trouble
shooting或幫忙原廠更新零件配置的功能，離開GG，人生GG，忠言又逆耳。
※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之銘言：
: 人在日本出差 晚上無聊來發發廢文聊一下imp
: 小弟之前在某fab內顧過幾年的imp
: 台灣的imp機台供應商大概有三家 AMAT Axcelis SHI
: 小弟只顧過兩個A社的
: 所以聊聊這兩家的機台
: 前面有人提到說 沒三年不敢說懂imp
: 個人還蠻認同的
: 沒一定經驗我看連想解讀alarm message都蠻困難的
: 不過說是真空機台內最難的我倒是不太認同
: 畢竟imp內部沒有光路 隨便一台有光路的機台難度都屌打imp
: 而且就算被PE highlight 說機台run出來的產品有問題要處理
: 最後也就換換parts tunebeam完以後就完事了
: 另外IMP個人認為算是蠻危險的機台
: 不光是平常使用的是毒氣之外 (B P As)
: 還有機會會發爐 有遇過一抽真空機台就shutdown開始冒煙
: 而且機台parts普通偏重 又需要常常拆卸
: 危險性跟其他module比起來應該也有前三吧 (?
: 後面聊聊機台
: AMAT現在主力的機台是trident 900xp
: 這兩種beamline型機台 只要平常parts的品質夠好
: 顧起來都算輕鬆的 (反而言之parts爛的時候就知道了XD)
: 另外還有一種叫PLAD 顧到這種機台的很屎
: 不光是機台很屎 聞起來也很屎
: 不過這機台就真的比較難 應該很少會給新人顧
: 但是PM的時候就會很想死了 因為真的很臭
: axcelis的機台就high energy類跟現在最新的purionH
: a社的機台就很難顧
: 因為AMAT的機台程式整合得很好 照著SOP通常都不會有甚麼問題
: a社的就很多毛 傳片也是特別的disk式
: 是以前八吋的霸者 現在就被AMAT打趴
: 至於以前上班的生活
: 大概就是PM 顧SPC、FDC 撿螺絲 刷地板 整理環境之類的
: 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam還有跟OP吵架
: tunebeam也很吃個人技術跟經驗
: 要怎麼tune到小姐都覺得你超屌就是個人技術了
: 心得大概就是這些
: 雖然我最後還是離職了
: 不過普遍聽到的imp的離職率其實還蠻低的 (連日本的fab好像也是)
: 或許imp真的就是這麼好顧也說不定
作者: HowBa (好吧) 2019-09-22 10:20:00
這系列文真不錯 不知道未來有沒有黃光、蝕刻等的機台分享
作者: deltarobot (翻出來比大隻小隻啊) 2019-09-22 10:21:00
排版
作者: Jolube (卡路比) 2019-09-22 10:41:00
好奇有哪個顧機台所學範圍不窄
作者:
loadingN (sarsaparilla)
2019-09-22 10:42:00其他產業的know how 你下班一樣用不到
作者:
motsu9876 (motsu9876)
2019-09-22 11:05:00晶晶體
作者: Xintec 2019-09-22 12:01:00
推
作者: snoopy790428 (snoopy) 2019-09-22 12:42:00
前蝕刻設備表示好像懂又好像不懂
沒做過IPM也看得懂啊...真空有beam的東西不都大同小異如下面那篇說的，測漏是He不是N2...以後出去可以去顧炸雞排設備啊，油溫曲線控制對各類炸物的影響，多久要PM一次濾網，換油跟filter雞排麵漿的塗布(Coating)，炸成金黃色(Development)撒胡椒粉(Pepper Implantation)目視檢查(Visual inspection)，裝袋封裝(Packaging)
作者:
rosty (魯蛇大叔)
2019-09-22 13:37:00推....這系列文應該要推廣才是
有點想問這版的，有看過醫生骨科轉泌尿科，皮膚科轉眼科嗎？但從榮總轉到長庚，高醫轉到地區醫院很正常。 同理IMP 轉ETC 或轉DIF也是接近不可能，但是你高興可以從GG轉去UMC 沒人會攔你但假如是小七店員，你要轉百貨專櫃，轉保全，轉保險業務，轉餐飲業，我相信更可以成功轉職～～～
作者: Incentive 2019-09-22 14:47:00
推大大分享
作者:
benden (20%/y的蝸牛)
2019-09-22 15:24:00推
作者: MINGSING 2019-09-22 16:39:00
最後一段是重點啊....
作者:
AnXD (一笑啊哈哈哈)
2019-09-22 19:27:00加入台積，正是時機
作者:
h321123aa (the king of toolman)
2019-09-23 00:06:00噓晶晶體的是沒在fab待過是不是…
我也都看得懂 囧 當初要PM 前把要換的SH 放在烤箱真的有差，但還不像老鳥一樣可以半夜短路自己PM ，要換SH拆裝真的很麻煩…
作者:
Gaujing (高進)
2019-09-23 02:23:00P到最後完全靠運氣 甚麼鳥狀況都有可能Filament斷掉 用久密封差抓不到漏點 還有Cathode跑掉的PFG桐柱燒掉 換parts沒裝好真空不足
作者:
moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)
2019-09-23 06:40:00曾半夜自己完成quaternary PM，因為隔天剛好要P，只因為時間點尷尬，剛好凌晨1點 S/H 斷掉
作者:
yikkung (暗天)
2019-09-23 09:46:00噓晶晶體的在科技業工作嗎哈哈 同事講話都是這樣的
作者:
Gaujing (高進)
2019-09-23 19:10:00一個人喔...這麼硬XD
作者:
moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)
2019-09-23 20:03:00不曉得有沒有人在淒涼的寒冬晚上，外面飄著毛毛細雨，獨自推著推車經過長廊去倉庫領料，回到機台旁，自己P年保，慢慢度過這個孤寂的寒夜！
作者:
moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)
2019-09-24 06:32:00慢慢換，反正有9小時，至少不用出來交接晨會被狗幹！
作者:
Gaujing (高進)
2019-09-24 12:35:00都穿無塵服應該感受不到XD
作者:
sky27 2019-09-24 14:59:00專業文 沒10年寫不出這些心得