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→ Homedoni: 洗淨就etching的一種 可放在擴散部的爐管前洗淨11/06 14:02
→ Homedoni: 乾式去光阻後也可能用硫酸再洗一次 也可以用來蝕刻圖案11/06 14:03
→ Homedoni: 應用算滿廣的11/06 14:03
推 bbbcccddd2: 算蝕刻的，不過是濕蝕刻，基本上就以水跟IPA為主，除11/06 14:07
→ bbbcccddd2: 非想拿來洗特別的材料才需要用專用的溶劑去洗11/06 14:07
不要唬爛好嗎？
基本的是雙氧水、氨水+雙氧水、鹽酸吧？
IPA有用啦，不過不是主要用途吧？
還有怎麼不提還是會用HF?
→ jengmei: 在設備裡算爽缺了11/06 14:15
推 Yesw: 薄膜好太多了！洗淨設備就wet設備,一有問題報廢都是一拖拉庫11/06 14:20
→ Yesw: .....11/06 14:20
推 L010089: wet絕對是屎缺11/06 15:09
推 kurtgod: WET CLAEN在GG也是屎缺11/06 15:11
推 Yesw: 是我不會再選wet了..目前手上又一份大量報廢的報告要寫囉QQ11/06 15:18
→ wzmildf: 我是不知道力晶啦，但是說wet etch只有水和ipa的...積點11/06 15:25
→ wzmildf: 陰德好吧不要這樣坑人11/06 15:25
推 Yesw: 我某公司wet clean設備，用到的酸可多了～11/06 15:37
推 Yesw: 重點不在用酸，那些自己工作上本來就要小心做好防護，刺激11/06 15:39
→ Yesw: 的是報廢都很大量，不管是defect還是機台傳送出問題都容易11/06 15:39
→ Yesw: 導致大量產品在你面前說掰掰11/06 15:39
還好我跑了，抽氣效率一差、DI角度一跑就報廢