作者:
semih (Sayginer)
2021-02-19 10:28:58https://www.chinatimes.com/newspapers/20210219000118-260202 中時
劉德音：台積３奈米進度超前
04:10 2021/02/19 工商時報 涂志豪
晶圓代工龍頭台積電報喜！董事長劉德音近日受邀於2021年國際固態電路會議（ISSCC
2021）開場線上專題演說時指出，台積電3奈米製程依計畫推進，甚至比預期還超前了一
些，3奈米及未來主要製程節點將如期推出並進入生產。台積電3奈米製程預計今年下半年
試產，明年下半年進入量產。
劉德音在演說時雖未透露3奈米進度會超前多少，但此一消息仍令市場感到振奮。
劉德音董事長以「釋放創新未來（Unleashing the Future of Innovation）」為演說主
題，指出半導體製程微縮腳步並未減緩，摩爾定律仍然有效，台積電3奈米比預期進度超
前，至於2奈米之後的電晶體架構將轉向環繞閘極（GAA）的奈米片（nano-sheet）架構，
而極紫外光（EUV）技術可支援到1奈米。
劉德音指出，半導體整合每踏出成功的一步，都需要付出愈來愈多的努力，而半導體技術
剛推出時，雖然只有少數人採用，但是最後成果會是由大眾享受，「台積電製程及製造能
力可以讓世界上多數人受益」。
台積電2020年推出5奈米製程並進入量產，與7奈米相較，邏輯密度提升1.83倍，運算速度
增加13％，運算功耗下降21％。台積電預計2022年推出3奈米製程，與5奈米相較邏輯密度
提升1.7倍，運算速度提升11％且運算功耗可減少27％。
劉德音也提及EUV微影技術的重要性與日俱增，他指出，EUV雖突破晶片尺寸限制，能使用
較少層數的光罩，但產量仍是問題。相較於過去採用的浸潤式微影技術，EUV的功耗明顯
提高，為此台積電已在350W雷射光源技術上獲得突破，可支援5奈米量產，甚至能支援到
更先進的1奈米製程節點。
台積電基於量產上的考量，5奈米及3奈米仍然採用鰭式場效電晶體（FinFET）架構，但在
材料創新上有所突破，在5奈米製程導入高遷移率通道（HMC）電晶體，將鍺（Ge）整合到
電晶體的鰭片（fin）當中，導線也採用新一代的鈷及釕等材料來持續挑戰技術限制。至
於2奈米之後，台積電將轉向採用GAA的奈米片架構，提供比FinFET架構更多的靜電控制，
改善晶片整體功耗。
台積電日前宣布將在日本成立研發中心擴展3D IC材料研究，劉德音也提及台積電在新材
料上的技術創新，包括六方氮化硼（hBN）已接近實現量產，與台灣學界團隊合作成功以
大面積晶圓尺寸生長單晶氮化硼等。他也指出，系統整合是半導體未來發展方向，
Chiplet（小晶片）是能讓技術朝向正確方向發展的關鍵，而台積電的SoIC先進封裝技術
可實現3D晶片堆疊。
https://i.imgur.com/i1zs3fV.jpg
作者:
ptta (ptta)
2021-02-20 00:29:00i皇：給條活路成不成
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XperiaZ (XperiaZ)
2021-02-19 10:32:00十
作者: Afro5566 2021-02-19 10:34:00
萬
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moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)
2021-02-19 10:40:00厲害
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DrFord (MIB)
2021-02-19 10:42:00十
作者: inoopp 2021-02-19 10:45:00
萬
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wellkom (wellkom)
2021-02-19 10:46:00青
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penguinmars (麥香éšå¡”塔醬)
2021-02-19 10:49:00年
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Fukker (小強)
2021-02-19 10:51:00十
作者: Yan5566 2021-02-19 10:53:00
萬
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acolor (boshiamy)
2021-02-19 10:56:00G
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oneal0420 (oneal0420)
2021-02-19 11:00:00G
作者: ScottBrooks (Phantasia) 2021-02-19 11:07:00
輪
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z1120123 (dogisgood)
2021-02-19 11:08:00班
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wind164 (æ£ç¾©å¿…å‹)
2021-02-19 11:09:00救
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GGing (小軒軒)
2021-02-19 11:14:00積
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alex01 (愛 立刻 濕)
2021-02-19 11:24:00假設做到一奈米的時候，接下來是？
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as6633208 (okokokiknow)
2021-02-19 11:32:00萬
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jkduke (jkduke)
2021-02-19 11:40:001奈米估計還要5年以上吧..
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john0302 (k k k )
2021-02-19 11:54:001奈米 只是數字
作者:
mqhung (茶味純)
2021-02-19 12:00:000.8奈米
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as6633208 (okokokiknow)
2021-02-19 12:01:001皮米、1普朗克長度
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kyle0302 (35期警專畢業生)
2021-02-19 12:26:002奈米下就更難突破了吧
作者:
Ashand (不想獨自快樂)
2021-02-19 12:28:00皮米啊
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ijk1 (ijkl)
2021-02-19 13:01:00還在奈米喔 什麼時候到埃？
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beatssola (Shark5566)
2021-02-19 13:07:00十
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douge (樹大便是美)
2021-02-19 13:19:00文組:摩爾定律已經走到盡頭 台積電:不回應文組的問題
作者: A0091127 (A009) 2021-02-19 13:39:00
萬
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jengmei (鄭小妹)
2021-02-19 14:19:00樓下奈米屌
作者: revise (小陶) 2021-02-19 14:27:00
pm級再叫我
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grateful (珍惜自己所擁有的一切)
2021-02-19 21:26:00螃蟹滷肉撐台灣
作者: nhltc1052 2021-02-21 21:51:00
Drypa out 掉怎麼辦
作者: intelatom 2021-02-22 18:02:00
看到這種新聞就知道股價炒不上去